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Ti—B超硬薄膜的合成及其显微结构和显微硬度的研究
采用离子束增强沉积方法,在p型单晶硅衬底上,通过不同能量的氙离子辅助轰击,以不同的沉积速率制备了Ti-B超硬薄膜。X射线衍射分析结果表明,Ti-B薄......
期刊
制备
超显微硬度
薄膜
钛-硼
显微结构
Ion beam enhanced deposition
Ultra-microhardess
Ti-B supe
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